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本发明公开了一种判断MOCVD尾气管道堵塞的方法，其优化方法：温度传感器选择，位置选择，加装伴热带，安装方式，数据收集，数据计算，数据分析，及时响应，与其他参数关联。本发明通过在反应室以下排气口的各支路处安装温度监控装置，若分析温度系统分析...
该专利属于南京镭芯光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京镭芯光电有限公司授权不得商用。

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