下载存储器件及其形成方法的技术资料

文档序号:41593807

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提供了存储器件和形成方法。存储器件包括堆叠结构;以及多个栅极线缝隙结构,垂直延伸穿过堆叠结构以将堆叠结构划分为多个堆叠部分。多个GLS结构在堆叠结构的横向平面中沿第一方向延伸,并且沿基本上正交于第一方向的第二方向布置。每个堆叠部分在对应的相...
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