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本发明公开了一种保持晶圆表面温度一致性的清洗装置及方法，该装置包括清洗基台和清洗设备；其中：待清洗晶圆设置于清洗基台上；清洗设备设有清洗喷管，清洗喷管的外壁安设有加热装置，用于对清洗喷管中的清洗液进行加热；清洗设备还设有位置调节件，用于对清...
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