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半导体存储器装置制造方法及图纸
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文档序号:41574734
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本申请涉及半导体存储器装置。提供了一种半导体存储器装置及其制造方法。该半导体存储器装置包括:单元层叠结构,其围绕第一沟道结构和第二沟道结构;第一源极选择线,其与单元层叠结构的第一区域交叠,并且围绕第一沟道结构;以及第二源极选择线,其与单元层...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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