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本申请提供了高深宽比X射线光栅的制造方法及高深宽比X射线光栅。该制造方法包括通过层叠的方式将第一材料部和第二材料部交替设置。光栅包括m个第一材料部和n个第二材料部，‑1≤m‑n≤1，且m、n均为正整数。光栅包括相互垂直的高度方向和周期方向，...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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