高深宽比X射线光栅的制造方法及高深宽比X射线光栅技术

本申请提供了高深宽比X射线光栅的制造方法及高深宽比X射线光栅。该制造方法包括通过层叠的方式将第一材料部和第二材料部交替设置。光栅包括m个第一材料部和n个第二材料部，‑1≤m‑n≤1，且m、n均为正整数。光栅包括相互垂直的高度方向和周期方向，在高度方向和周期方向形成的平面中，光栅的高度为h，光栅还包括与周期方向平行的第一边缘和第二边缘，第一边缘的长度为D1，第二边缘的长度为D2，且D1≤D2，h(m+n)/D1＞200。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及x射线多特性成像领域，尤其涉及高深宽比x射线光栅的制造方法及高深宽比x射线光栅。

技术介绍

1、如下面列出的参考文献1、2所述，随着微纳加工技术的发展，利用微纳光栅进行成像的同时获得吸收、折射与小角散射的x射线多特性成像技术(x-ray multi-characteristic imaging，xmci)成为国际上x射线成像技术研究的前沿，在医学成像(例如参考文献3所述的乳腺癌诊断、参考文献4所述的肺部疾病筛查)和参考文献5所述的安全检查等领域具有重要的应用。传统x射线成像技术只利用了x射线的穿过物体的衰减信息，从而无法检测低密度的物体，存在一定的局限性。以微纳光栅为基础的x射线多特性成像方法则可以同时探测衰减导致的吸收、折射导致的相位移动以及小角散射产生的暗场三种信息。其中相位信息与暗场信息可以作为吸收信息的补充，揭示物体不同特性下的成像情况，因此称为x射线多特性成像。

2、目前最主流的x射线多特性成像技术利用的是talbot-lau效应(也称为泰伯效应)。如图1所示，其原理是在传统x射线成像技术的基础上，引入三个高精度光栅g0、g本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高深宽比X射线光栅的制造方法，所述光栅包括m个第一材料部(100)和n个第二材料部(200)，-1≤m-n≤1，且m、n均为正整数，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的高深宽比X射线光栅的制造方法，其特征在于，所述层叠包括热压层叠，所述热压层叠包括：将所述第一材料部(100)、所述第二材料部(200)交替放置并在设定温度和设定压力下压缩成型所述光栅。

3.根据权利要求1所述的高深宽比X射线光栅的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：

4.根据权利要求1所述的高深宽比X射线光栅的制造方法，其特征在于，所述层叠包括热压层叠，所述热压层叠包括：<...

【技术特征摘要】

1.一种高深宽比x射线光栅的制造方法，所述光栅包括m个第一材料部(100)和n个第二材料部(200)，-1≤m-n≤1，且m、n均为正整数，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的高深宽比x射线光栅的制造方法，其特征在于，所述层叠包括热压层叠，所述热压层叠包括：将所述第一材料部(100)、所述第二材料部(200)交替放置并在设定温度和设定压力下压缩成型所述光栅。

3.根据权利要求1所述的高深宽比x射线光栅的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：

4.根据权利要求1所述的高深宽比x射线光栅的制造方法，其特征在于，所述层叠包括热压层叠，所述热压层叠包括：

5.根据权利要求1所述的高深宽比x射线光栅的制造方法，其特征在于，所述层叠包括固定涂胶层叠，所述固定涂胶层叠包括：

6.根据权利要求5所述的高深宽比x射线光栅的制造方法，其特征在于，在所述光栅的高度方向(a)上，所述第一材料部(100)包括第一材料部第一区(110)、第一材料部第二区(120)和第一材料部第三区(130)，

【专利技术属性】
技术研发人员：王振天，张丽，邓润涛，陈志强，邢宇翔，高河伟，李禹锋，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：

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