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确定性能参数分布的方法技术
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文档序号:41567084
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2021P00202WO19保密。摘要公开了一种确定性能参数分布和/或相关联的分位数函数的方法。方法包括:获得分位数函数预测模型,其可操作为针对衬底位置和给定的分位数概率预测分位数值,使得所预测的分位数值作为分位数概率的函数单调地变化,以及...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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