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本技术公开了一种热光调制器。该热光调制器包括：衬底；衬底上的波导结构；第一电极和第二电极，均位于波导结构上，第一电极与第二电极间隔设置且具有朝向彼此的侧面；加热结构，位于波导结构上，加热结构的一端与第一电极朝向第二电极的侧面相连，加热结构的...
该专利属于北京燕东微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京燕东微电子科技有限公司授权不得商用。

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