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本申请涉及晶圆处理设备的技术领域，尤其是涉及一种多工位料仓结构，包括料仓体，所述料仓体沿长度方向上设置有至少两个仓位，相邻的所述仓位之间通过复位挡板分隔，所述料仓体内滑移设置有料箱，所述料仓体上设置有驱使所述料箱在料仓体内滑动的驱动件。本申...
该专利属于长电集成电路（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长电集成电路（绍兴）有限公司授权不得商用。

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