一种多工位料仓结构制造技术

技术编号:41539969 阅读:44 留言:0更新日期:2024-06-04 11:15
本申请涉及晶圆处理设备的技术领域,尤其是涉及一种多工位料仓结构,包括料仓体,所述料仓体沿长度方向上设置有至少两个仓位,相邻的所述仓位之间通过复位挡板分隔,所述料仓体内滑移设置有料箱,所述料仓体上设置有驱使所述料箱在料仓体内滑动的驱动件。本申请具有以下效果:将料仓体设置多个仓位,这样当存放在料仓体内的料箱可通过位置的变化,进行工序区别,例如在第一工位的料箱取走仅进行某一工序,也可在放置时均放在第一工位,通过驱动件将其放置至特定的仓位,从而区别取料的不同,继而实现降低错拿的可能性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆处理设备的,尤其是涉及一种多工位料仓结构


技术介绍

1、在半导体封装领域中,将会需要将相关的待加工件依照封装的工艺步骤进行多次加工。并且由于每次的加工区域等不同,需要在一个物料中转站进行暂存,从而将其运送至另一个加工工序处。

2、但实际的运转过程中,由于物料中转站内的物料数量较多,人工搬运时容易错拿物料框,从而导致影响整体封装加工效率。


技术实现思路

1、为了便于区别需要加工的物料,降低错拿的可能性,本申请提供一种多工位料仓结构。

2、本申请提供的一种多工位料仓结构,采用如下的技术方案:一种多工位料仓结构,包括料仓体,所述料仓体沿长度方向上设置有至少两个仓位,相邻的所述仓位之间通过复位挡板分隔,所述料仓体内滑移设置有料箱,所述料仓体上设置有驱使所述料箱在料仓体内滑动的驱动件。

3、通过采用上述技术方案,将料仓体设置多个仓位,这样当存放在料仓体内的料箱可通过位置的变化,进行工序区别,例如在第一工位的料箱取走仅进行某一工序,也可在放置时均放在第一工位,通过驱动件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多工位料仓结构,其特征在于:包括料仓体(100),所述料仓体(100)沿长度方向上设置有至少两个仓位(110),相邻的所述仓位(110)之间通过复位挡板(111)分隔,所述料仓体(100)内滑移设置有料箱(112),所述料仓体(100)上设置有驱使所述料箱(112)在料仓体(100)内滑动的驱动件。

2.根据权利要求1所述的一种多工位料仓结构,其特征在于:所述料仓体(100)竖直设置,所述料箱(112)依靠自身重力抵触在所述复位挡板(111)上时,所述复位挡板(111)保持关闭的状态。

3.根据权利要求2所述的一种多工位料仓结构,其特征在于:所述复位挡板(...

【技术特征摘要】

1.一种多工位料仓结构,其特征在于:包括料仓体(100),所述料仓体(100)沿长度方向上设置有至少两个仓位(110),相邻的所述仓位(110)之间通过复位挡板(111)分隔,所述料仓体(100)内滑移设置有料箱(112),所述料仓体(100)上设置有驱使所述料箱(112)在料仓体(100)内滑动的驱动件。

2.根据权利要求1所述的一种多工位料仓结构,其特征在于:所述料仓体(100)竖直设置,所述料箱(112)依靠自身重力抵触在所述复位挡板(111)上时,所述复位挡板(111)保持关闭的状态。

3.根据权利要求2所述的一种多工位料仓结构,其特征在于:所述复位挡板(111)转动连接在料仓体(100)内壁,所述料仓体(100)的内壁设置有阻挡部(131),所述阻挡部(131)靠近料仓体(100)底部。

4.根据权利要求1所述的一种多工位料仓结构,其特征在于:所述复位挡板(111)沿水平方向可复位的滑移连接在料仓体(100)的内壁中,所述复位挡板(111)的端部具有朝向料仓体(100)底部设置的引导斜面(142),所述引导斜面(142)用于和所述料箱(112)抵触。

5.根据权利要求4所述的一种多工位料仓结构,其特征在于:所述料仓体(100)内具有供所述复位挡板(111)滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员:滕玉超宁瑞强杨世杰魏朋忠赵文翰吴旭峰
申请(专利权)人:长电集成电路绍兴有限公司
类型:新型
国别省市:

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