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本发明涉及用于进行等离子体处理工艺的基板处理装置。本发明的基板处理装置通过在基板处理工艺中的处理条件下，以预设的间隔对阻抗控制电路的可变电容器的静电容量值进行一次扫描，同时将可变电容器设定为通过传输线路的测量传感器所测量的有效电流值与有效电...
该专利属于盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司授权不得商用。

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