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本发明的一个方面涉及用于生产包括适于在扫描探针显微镜(SPM)中使用的多个尖端的基板的方法，其中作为第一步骤，生产或提供包括多个纳米尺寸的尖端的基板，多个纳米尺寸的尖端优选地布置成规则阵列并且以纳米尺寸的间隙分隔开。掩模被施加到该基板，该掩...
该专利属于IMEC非营利协会所有，仅供学习研究参考，未经过IMEC非营利协会授权不得商用。

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