下载电镀设备及电镀方法的技术资料

文档序号:41530872

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及电镀领域,公开了一种电镀设备及电镀方法。该电镀设备包括溢流槽和电镀槽,溢流槽的上部具有封闭溢流槽的盖体,避免空气从溢流槽的上部进入溢流槽内,电镀槽由第一环形件和第二环形件的内侧共同围绕形成,电镀槽具有进液口,电镀槽具有溢流口,溢流...
该专利属于新阳硅密(上海)半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新阳硅密(上海)半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。