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本发明公开了超高真空解离钝化方法，其解离钝化方法：激光Bar条处理→除气处理→清洗处理→超真空解离→界面处理→超真空钝化处理→钝化检测。本发明通过MBE是一个超高真空的物理沉积过程，既不需要考虑中间化学反应，又不受质量传输的影响，并且利用闸...
该专利属于南京镭芯光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京镭芯光电有限公司授权不得商用。

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