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一种具备过压泄荷功能的磨抛一体晶片减薄机制造技术
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下载一种具备过压泄荷功能的磨抛一体晶片减薄机的技术资料
文档序号:41530223
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本发明公开了一种具备过压泄荷功能的磨抛一体减薄机,包括U型拖板,U型拖板内侧设有三组Z1导轨,主轴单元通过导轨滑块副与U型拖板连接;U型拖板上方设有两个恒压气缸,恒压气缸的活塞杆与主轴单元上侧固定连接,主轴单元在Z向为浮动安装;主轴单元可由...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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