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本发明涉及半导体光电技术领域，特别涉及一种集成光子芯片及其制备方法。本申请实施例提供的集成光子芯片具有同一支撑衬底，还包括位于所述支撑衬底上的钽酸锂光子系统，所述钽酸锂光子系统包括光传输波导；位于所述钽酸锂光子系统上的电互联系统，所述电互联...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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