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一种定位存储器装置中的接触通孔(CT)位置的方法包括：获得包括存储器装置中的多个CT的明电压对比(BVC)图像；确定BVC图像中的CT坐标；基于黄金CT布局验证BVC图像中的CT坐标以获得BVC图像中的验证CT坐标；以及基于BVC图像中的经...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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