下载半导体结构的制造方法和半导体结构的技术资料

文档序号:41526643

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构的制造方法和半导体结构,制造方法包括:在基底上形成堆叠体和隔离墙,且二者在第一方向上交替排列;堆叠体包括第一隔离结构和第二隔离结构,且二者在第三方向上交替排列;形成沟槽,沟槽至少穿透第一隔离结构...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。