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一种诸如用于切片入图像处理的与聚焦离子束铣削柱结合的扫描电子显微镜的双光束装置。基于晶片的测试体积的至少一个横截面的一幅或多幅图像来确定晶片倾斜。...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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