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本发明的实施例涉及一种物流输送设备,特别涉及一种夹持机构、晶圆传送盒的抓取平台及其抓取方法,夹持机构包括:第一夹爪、第二夹爪、驱动装置、检测装置和主控模块;第一和第二夹爪彼此相对设置,驱动装置分别与第一和第二夹爪连接,并可驱动第一和第二夹爪...该专利属于尊芯智能科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过尊芯智能科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明的实施例涉及一种物流输送设备,特别涉及一种夹持机构、晶圆传送盒的抓取平台及其抓取方法,夹持机构包括:第一夹爪、第二夹爪、驱动装置、检测装置和主控模块;第一和第二夹爪彼此相对设置,驱动装置分别与第一和第二夹爪连接,并可驱动第一和第二夹爪...