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本发明的半导体芯片的表面处理方法,包括:第一掩膜覆盖于半导体芯片上,第一遮挡区域覆盖线圈部分,第一镂空区域使未形成线圈部分的基体暴露在外;在第一镂空区域上沉积第一碳涂层;移除第一掩膜,采用第二掩膜覆盖于半导体芯片上,第二遮挡区域覆盖于第一碳...该专利属于东莞新科技术研究开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞新科技术研究开发有限公司授权不得商用。
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本发明的半导体芯片的表面处理方法,包括:第一掩膜覆盖于半导体芯片上,第一遮挡区域覆盖线圈部分,第一镂空区域使未形成线圈部分的基体暴露在外;在第一镂空区域上沉积第一碳涂层;移除第一掩膜,采用第二掩膜覆盖于半导体芯片上,第二遮挡区域覆盖于第一碳...