下载一种新型掩埋异质结激光器的电流限制结构制备方法的技术资料

文档序号:41518335

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种新型掩埋异质结激光器的电流限制结构制备方法,具体包括如下步骤:步骤一、在衬底上生长InP缓冲层,在其上生长InGaAsP四元合金有源层结构,在其上生长InP间隔层,再在其上生长光栅层InGaAsP材料;步骤二、用光刻胶做为掩...
该专利属于南京镭芯光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京镭芯光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。