下载半导体结构及其制备方法、半导体器件的技术资料

文档序号:41514244

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本公开实施例公开了一种半导体结构及其制备方法、半导体器件。半导体结构包括:衬底,衬底包括多个有源区;位线结构,位于有源区上方,且与有源区接触;其中,位线结构包括位线和接触插塞,接触插塞位于有源区和位线之间且包括第一部分和第二部分,位线沿第一...
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