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本发明公开了一种体声波谐振器的制备方法及体声波谐振器，应用于体声波谐振器技术领域，包括：在基底表面设置压电层；刻蚀压电层的表面，以在压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面；在压电层表面设置电极材料，以基于台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层；基...
该专利属于睿思微系统（烟台）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿思微系统（烟台）有限公司授权不得商用。

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