一种体声波谐振器的制备方法及体声波谐振器技术

本发明专利技术公开了一种体声波谐振器的制备方法及体声波谐振器，应用于体声波谐振器技术领域，包括：在基底表面设置压电层；刻蚀压电层的表面，以在压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面；在压电层表面设置电极材料，以基于台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层；基于电极层制备体声波谐振器。通过在压电层表面刻蚀出台阶面，然后在压电层表面设置覆盖压电层的导电材料，只需要通过一次图案化就可以一次性形成电极层以及在电极层边缘设置凹凸结构，大大简化了体声波谐振器的制备流程。而通过调整部分刻蚀压电层的深度形成谐振器有效区不同的厚度，进而形成不同的谐振器频率，实现体声波滤波器的制作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及体声波谐振器，特别是涉及一种体声波谐振器的制备方法以及一种体声波谐振器。

技术介绍

1、通信技术的发展，对射频前端的器件需要不断增大。现今一部5g全网通手机需要支持各个频段的通信，每个频段都需要相应的射频前端器件。在射频前端中滤波器的需求是非常大的，而要做到5g全网通滤波器需要支持的频段到达ghz，在该频段主要是saw(声表面波)和baw(体声波)滤波器。baw滤波器相比saw滤波器的性能更佳，带宽更宽，功率容量更大，频段也更高，但高性能带来的是高成本。如何降低baw滤波器的成本成为产业界和科学界急需解决的一大问题。

2、由公知技术可得提升baw滤波器的性能可通过提高baw谐振器的q值，主要是baw谐振器的并联谐振点的q值，可使用在顶电极边缘放置凸起和悬臂梁的结构来实现。而在制作凸起结构时其与baw谐振器的顶电极需要分开制作，即凸起结构需要单独的一次光刻。同时baw滤波器的拓扑结构中至少包含两种频率的谐振器，即谐振器有效区的厚度不同。工艺形成不同的厚度的谐振器，需要减薄工艺，且对减薄工艺的精度要求很高。所以如何提供一种合适的工艺实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于所述电极层制备体声波谐振器包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述台阶面为多级台阶面，所述电极层的边缘具有多级凹凸结构。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于所述电极层制备体声波谐振器包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述台阶面为多级台阶面，所述电极层的边缘具有多级凹凸结构。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：张标，陈高鹏，
申请(专利权)人：睿思微系统烟台有限公司，
类型：发明
国别省市：