【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及体声波谐振器，特别是涉及一种体声波谐振器的制备方法以及一种体声波谐振器。
技术介绍
1、通信技术的发展，对射频前端的器件需要不断增大。现今一部5g全网通手机需要支持各个频段的通信，每个频段都需要相应的射频前端器件。在射频前端中滤波器的需求是非常大的，而要做到5g全网通滤波器需要支持的频段到达ghz，在该频段主要是saw(声表面波)和baw(体声波)滤波器。baw滤波器相比saw滤波器的性能更佳，带宽更宽，功率容量更大，频段也更高，但高性能带来的是高成本。如何降低baw滤波器的成本成为产业界和科学界急需解决的一大问题。
2、由公知技术可得提升baw滤波器的性能可通过提高baw谐振器的q值，主要是baw谐振器的并联谐振点的q值，可使用在顶电极边缘放置凸起和悬臂梁的结构来实现。而在制作凸起结构时其与baw谐振器的顶电极需要分开制作，即凸起结构需要单独的一次光刻。同时baw滤波器的拓扑结构中至少包含两种频率的谐振器，即谐振器有效区的厚度不同。工艺形成不同的厚度的谐振器，需要减薄工艺，且对减薄工艺的精度要求很高。所以如何提供一种合适的工艺实现高性能的baw滤波器，并且可以降低滤波器的制作成本是本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种体声波谐振器的制备方法，可以制备实现高性能的baw滤波器，并且降低滤波器的制作成本；本专利技术的另一目的在于提供一种体声波谐振器，具有较高性能且成本较低。
2、为解决上述技术问题，本专利
3、在基底表面设置压电层；
4、刻蚀所述压电层的表面，以在所述压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面；
5、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层；
6、基于所述电极层制备体声波谐振器。
7、可选的，所述刻蚀所述压电层的表面，以在所述压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：
8、刻蚀所述压电层的表面形成凹槽；
9、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层包括：
10、在所述凹槽表面设置电极材料，以形成边缘具有凸起结构的电极层。
11、可选的，基于所述电极层制备体声波谐振器包括：
12、在边缘具有凸起结构的所述电极层外侧设置悬臂梁；
13、基于设置有所述悬臂梁的电极层制备体声波谐振器。
14、可选的，所述台阶面为多级台阶面，所述电极层的边缘具有多级凹凸结构。
15、可选的，所述刻蚀所述压电层的表面，以在所述压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：
16、刻蚀所述压电层的表面形成凸起；
17、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层包括：
18、在所述凸起表面设置电极材料，以形成边缘具有凹陷结构的电极层。
19、可选的，在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层包括：
20、在所述压电层表面设置电极材料；
21、对所述电极材料进行图案化，基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层。
22、可选的，在基底表面设置压电层包括：
23、在衬底表面设置声学反射层；
24、在所述声学反射层表面设置底电极；
25、在所述底电极表面设置压电层；
26、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层包括：
27、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的顶电极。
28、可选的，所述声学反射层为空腔或布拉格反射层。
29、可选的，在基底表面设置压电层包括：
30、在第一衬底表面设置压电层；
31、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层包括：
32、在所述压电层的表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的底电极；
33、基于所述电极层制备体声波谐振器包括：
34、在所述压电层表面设置覆盖所述底电极的牺牲层，以及容纳所述牺牲层，与所述压电层键合的第二衬底；
35、剥离所述第一衬底，并在暴露出的压电层表面设置顶电极，制备体声波谐振器。
36、可选的，在暴露出的压电层表面设置顶电极包括：
37、刻蚀所述压电层的表面，以在所述压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面；
38、在所述压电层表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的顶电极。
39、本专利技术还提供了一种体声波谐振器，包括由上述任一项所述的一种体声波谐振器的制备方法所制备而成的体声波谐振器。
40、本专利技术所提供的一种体声波谐振器的制备方法，包括：在基底表面设置压电层；刻蚀压电层的表面，以在压电层对应电极层边缘的区域形成台阶面；在压电层表面设置电极材料，以基于台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层；基于电极层制备体声波谐振器。
41、通过在压电层表面刻蚀出台阶面，然后在压电层表面设置覆盖压电层的导电材料，只需要通过一次图案化就可以一次性形成电极层以及在电极层边缘设置凹凸结构，大大简化了体声波谐振器的制备流程。而通过调整部分刻蚀压电层的深度形成谐振器有效区不同的厚度，进而形成不同的谐振器频率，实现体声波滤波器的制作。
42、本专利技术还提供了一种体声波谐振器，同样具有上述有益效果，在此不再进行赘述。
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1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于所述电极层制备体声波谐振器包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述台阶面为多级台阶面，所述电极层的边缘具有多级凹凸结构。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述压电层(4)表面设置电极材料，以基于所述台阶面形成边缘具有凹凸结构的电极层包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在基底表面设置压电层(4)包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述声学反射层为空腔(21)或布拉格反射层(22)。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在基底表面设置压电层(4)包括：
10.根据
11.一种体声波谐振器，其特征在于，包括由权利要求1至10任一项权利要求所述的一种体声波谐振器的制备方法所制备而成的体声波谐振器。
...【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于所述电极层制备体声波谐振器包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述台阶面为多级台阶面，所述电极层的边缘具有多级凹凸结构。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述压电层(4)的表面，以在所述压电层(4)对应电极层边缘的区域形成台阶面包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述压电...
【专利技术属性】
技术研发人员：张标，陈高鹏，
申请(专利权)人：睿思微系统烟台有限公司，
类型：发明
国别省市：
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