下载开关及包括其的射频收发器系统的技术资料

文档序号:41504787

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本技术的各种实施例是关于一种开关,包括:加热器层、位于加热器层上的相变材料(PCM)层、以及形成于PCM层附近且包括中央区及边缘区的扩散器层,中央区具有第一导热率,且边缘区的第二导热率不同于第一导热率。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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