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基于In组分调控InGaN的增强型GaN功率器件制造技术
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下载基于In组分调控InGaN的增强型GaN功率器件的技术资料
文档序号:41504500
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本发明涉及一种基于In组分调控InGaN的增强型GaN功率器件,属于半导体器件技术领域,自下而上依次包括衬底、缓冲层、GaN沟道层和势垒层,所述势垒层两侧GaN沟道层上方分别设置有源电极和漏电极,所述势垒层上方在源电极和漏电极之间依次设置有...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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