下载基于In组分调控InGaN的增强型GaN功率器件的技术资料

文档序号:41504500

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基于In组分调控InGaN的增强型GaN功率器件,属于半导体器件技术领域,自下而上依次包括衬底、缓冲层、GaN沟道层和势垒层,所述势垒层两侧GaN沟道层上方分别设置有源电极和漏电极,所述势垒层上方在源电极和漏电极之间依次设置有...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。