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本发明涉及激光器光斑测量技术领域，尤其涉及一种激光器远场光束质量测试装置及测试方法，包括目标靶标、激光器、四象限光电探测单元、近红外相机、数据处理单元和控制单元，激光器设于二维转台上，激光器发射的脉冲激光照射于目标靶标；四象限光电探测单元接...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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