下载不良追溯分析方法及系统、存储介质及计算机设备的技术资料

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本发明涉及一种不良追溯分析方法及系统、存储介质及计算机设备。所述不良追溯分析方法,包括:基于统一的量测坐标系,获取多个工艺站点中的芯粒量测数据,并分类存储芯粒量测数据;芯粒量测数据至少包括坐标值和工艺站点编号;获取目标坐标值对应的异常芯粒量...
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