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本发明公开了一种基于BINNING模式的掩膜版缺陷检测的方法，方法的步骤中包括：在掩膜版设计图上选择检测区域和对准设置用的Mark点；将掩膜版置于运动平台上，基于Mark点建立运动平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系以对运动平台进行对准设...
该专利属于江苏维普光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏维普光电科技有限公司授权不得商用。

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