下载铜表面的抗氧化方法的技术资料

文档序号:41480694

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本发明的铜表面的抗氧化方法,包括:清洗铜表面;在所述铜表面溅射形成金属钛层;以及在所述金属钛层上沉积形成氮化钛层。经处理后的铜表面形成光滑致密涂层,该涂层具有优异的抗氧化性能。...
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