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本发明在悬臂件表面上形成通孔的方法，包括：在悬臂件的表面上形成保护膜，使所述悬臂件的预定表面被显露；对所述悬臂件的所述预定表面进行干法刻蚀，在所述预定表面上形成通孔；其中，形成所述保护膜包括在所述悬臂件上涂覆感光材料，经曝光、显影后露出所述...
该专利属于东莞新科技术研究开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞新科技术研究开发有限公司授权不得商用。

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