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具有阶梯式电子阻挡层的垂直腔面发射激光器制造技术
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下载具有阶梯式电子阻挡层的垂直腔面发射激光器的技术资料
文档序号:41473375
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提供一种具有阶梯式电子阻挡层的垂直腔面发射激光器,其结构包括:第一分布式布拉格反射器;位于第一分布式布拉格反射器上的p型区;位于p型区远离第一分布式布拉格反射器一侧的第一电子阻挡层;位于第一电子阻挡层远离第一分布式布拉格反射器一侧的第二电子...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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