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本发明公开了一种液封直拉生长大直径锑化镓单晶的方法,包括:液封剂脱水;多晶料的清洗;多晶料与液封剂的装炉;洗气与熔化原料;引晶与放肩;晶体等径生长;晶体收尾与退火冷却。本发明专利中通过采用锑化镓多晶作为长晶原料、加液封剂和通入还原气体的方法...该专利属于云南中科鑫圆晶体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南中科鑫圆晶体材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种液封直拉生长大直径锑化镓单晶的方法,包括:液封剂脱水;多晶料的清洗;多晶料与液封剂的装炉;洗气与熔化原料;引晶与放肩;晶体等径生长;晶体收尾与退火冷却。本发明专利中通过采用锑化镓多晶作为长晶原料、加液封剂和通入还原气体的方法...