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本发明涉及半导体器件技术领域,且公开了一种SiC VDMOSFET功率器件,包括漏极,所述漏极的上表面铺设一层N+衬底,所述N+衬底的上方具有N‑漂移区,所述N‑漂移区的内部嵌设多个P+型区,在两个所述P+型区之间有P型半导体,所述P型半导...该专利属于杭州谱析光晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州谱析光晶半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体器件技术领域,且公开了一种SiC VDMOSFET功率器件,包括漏极,所述漏极的上表面铺设一层N+衬底,所述N+衬底的上方具有N‑漂移区,所述N‑漂移区的内部嵌设多个P+型区,在两个所述P+型区之间有P型半导体,所述P型半导...