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本发明涉及碳化硅晶圆检测技术领域，公开了一种碳化硅晶圆真空检漏的装置及检测方法，其包括若干个漏斗状晶圆卡盘、真空泵、真空压力表。漏斗状晶圆卡盘内壁有多层用于放置待检晶圆的同轴的圆环凸台；漏斗状晶圆卡盘底部通过管道连通于真空泵；每一个所述管道...
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