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本文的各种实施方案涉及用于选择性控制多站处理室的部件所用的装置、系统及方法。在一些实施方案中，方法包括：针对多个站中的一站确定待执行的沉积循环数量；通过使与第一站相关联的第一多个控制部件及与第二站相关联的第二多个控制部件被设置成第一位置，从...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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