下载一种背接触电池的制备方法及背接触电池的技术资料

文档序号:41448180

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本发明属于背接触太阳能电池技术领域,具体涉及一种背接触电池的制备方法及背接触电池,制备方法包括:硅片背面依次沉积隧穿氧化硅层、本征多晶硅层和掺磷多晶硅层,本征多晶硅层的厚度与掺磷多晶硅层的厚度的比值为0.0625~1,掺磷多晶硅层的有效掺杂...
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