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集成电路装置制造方法及图纸
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下载集成电路装置的技术资料
文档序号:41440629
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公开了集成电路装置。所述集成电路装置包括:基底;下绝缘膜;以及电容器结构,电容器结构包括:多个第一导电图案,顺序地堆叠在下绝缘膜上;多个第二导电图案,在所述多个第一导电图案上;第一过孔,在电容器结构的第一侧,其中,第一过孔与所述多个第一导电...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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