下载集成电路装置的技术资料

文档序号:41440629

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公开了集成电路装置。所述集成电路装置包括:基底;下绝缘膜;以及电容器结构,电容器结构包括:多个第一导电图案,顺序地堆叠在下绝缘膜上;多个第二导电图案,在所述多个第一导电图案上;第一过孔,在电容器结构的第一侧,其中,第一过孔与所述多个第一导电...
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