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提供衬底、安置在所述衬底上的第一层以及安置在所述第一层上的第二层。蚀刻出穿过所述第二层到达所述第一层的开口。使用第一蚀刻剂通过所述开口蚀刻所述第一层的第一部分，以通过所述开口暴露所述衬底的表面。通过所述开口将特征件沉积在所述衬底的所述表面上...
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