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一种气体裂解源用流量阀系统及流量调节方法技术方案
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文档序号:41422688
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本发明涉及一种气体裂解源用流量阀系统及流量调节方法,属于流量控制技术领域,包括相连接的流量传感器、流量阀和气体裂解源,流量传感器的进气口与气瓶连接,流量阀的出气口与气体裂解源的进气口连接;气体裂解源包括前端盖,其内部设置有导流区域,气流沿前...
该专利属于东北大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北大学授权不得商用。
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