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一种衬底处理装置，包括干燥室壳体和在干燥室壳体中的干燥卡盘。干燥室壳体包括下腔室和附接到下腔室的上腔室。干燥卡盘包括第一支撑元件、第二支撑元件和第三支撑元件，每个支撑元件连接到上腔室，并且在第一方向上与下腔室间隔开。第一支撑元件包括固定到上...
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