下载半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法的技术资料

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提供了半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法。半导体存储器装置包括:层叠结构,其包括交替地层叠在层叠结构中的层间绝缘层和导电层;以及多个接触插塞,其垂直地形成在导电层上。层叠结构被配置为具有阶梯式结构,并且阶梯式结构中包括的多个阶梯中...
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