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一种宽禁带半导体器件及制备方法技术
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文档序号:41407337
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本发明提供了一种宽禁带半导体器件及制备方法,该宽禁带半导体器件包括:衬底;位于衬底一侧的外延层;位于衬底与外延层之间的P型层;其中,P型层中具有空穴,当单粒子入射到该宽禁带半导体器件中后,外延层中会产生大量的非平衡载流子,从而产生极高的电流...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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