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半导体器件制造技术
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文档序号:41407266
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一种半导体器件包括:包括晶体管的局部传感器,该局部传感器布置在半导体芯片中的测量目标区域附近,并且根据测量目标区域中的温度来输出晶体管的漏电流作为传感器信号;布置在半导体芯片上并且将来自局部传感器的传感器信号转换为数字计数值的转换电路;以及...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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