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本发明的目的是，在进行去除附着在有机ＥＬ用掩模上的蒸镀物的清洁时，以对基板完全非接触的状态，去除蒸镀物。本发明的掩模清洁装置用于去除附着在形成有若干开口部（４）的有机ＥＬ用掩模（２）上的蒸镀物质（２０）。在有机ＥＬ用掩模（２）的表面，借助电...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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