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本技术公开了一种密封性强的化学气相沉积进气装置，包括管体；单向密封机构，所述单向密封机构包括设置在管体下方的密封板，所述密封板的上端设置有连接块，所述管体的内壁上固定连接有横板，所述横板与连接块通过第一弹簧弹性连接；所述密封板的上端固定连接...
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