【技术实现步骤摘要】
本技术涉及进气装置，尤其涉及一种密封性强的化学气相沉积进气装置。
技术介绍
1、常压化学气相沉积炉在对物料进行提纯加工的过程中，会产生大量挥发物，大量挥发物经过常压化学气相沉积炉内部的反映后，需要通过净化处理后，达到排放标准才能正常的进行尾气的排放，常压化学气相沉积炉上的进气管道直接与常压化学气相沉积炉的内部连通，用于气体的输入；
2、采用该结构的情况下，当进气管道不输送气体状态下，挥发物气体易会出现回流状况，回流的气体会进入到进气管内部，然后让进气管道内部发生堵塞，后续需要人工定期去进行清堵工作，不仅容易造成时间的浪费，且如果在正在送气时发生堵塞，还需要停止送气装置，影响实际的装置运行。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，该装置在实际的使用过程中，利用单向密封结构，可有效的避免气体回流的情况出现，保证了管道的洁净性。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种密封性...
【技术保护点】
1.一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述横板(2)上开设有多个通风口。
3.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封环(6)的内径小于管体(1)的内径，所述密封环(6)的外径大于管体(1)的外径。
4.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所以连接块(3)的上端对称固定连接有多个导向杆(7)，多个所述导向杆(7)均贯穿横板(2)，并与横板(2)滑动连接。
5.根...
【技术特征摘要】
1.一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述横板(2)上开设有多个通风口。
3.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封环(6)的内径小于管体(1)的内径，所述密封环(6)的外径大于管体(1)的外径。
4.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所以连接块(3)的上端对称固定连接有多个导向杆(7)，多个所述导向杆(7)均贯穿横板(2)，并与横板(2)滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封板(4)、连接块(3)、横板(2)和多个导向杆(7)均采用不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封板(4)的上端开设有矩形槽(8)，所述连接块(3)的下端延伸至矩形槽(8)内。
【专利技术属性】
技术研发人员：朱洪磊，焦祥杰，张兆天，
申请(专利权)人：天津华创芯微科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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