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提供了末端执行器垫，其可用于将衬底固定至晶片搬运机械手上的末端执行器。末端执行器可具有多个末端执行器垫。末端执行器垫中的每一者可具有薄的分隔膜以允许垫的外围环稍微倾斜以允许环对着弯曲衬底的下表面密封。可使用真空将衬底拉下抵靠在每个末端执行器...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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