温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文提供的公开内容的方面总体涉及被配置以冷却基板处理系统的子系统的流体流动网络。本公开内容的方面提供一种流体流动网络及方法，所述方法调整穿过基板处理系统的每个子系统的冷却流体的流动。本文描述的方法可以包括在冷却流体压力的范围内维持穿过每个子...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。